北方华创 Al Pad PVD荣获首届集成电路家当同盟立异奖-金沙网站手机版4066-5wk.com金沙娱乐城

首届“集成电路产业链协同立异生长结果交流会暨2018年集成电路家当技术创新计谋同盟大会”于3月1日正在北京召开,会议由集成电路家当技术创新计谋同盟构造,会议停止了集成电路家当发展战略,和集成电路产业链协同立异生长结果交换。北方华创“12英寸铝溅射装备”荣获“技术创新奖”。

12英寸铝溅射装备(Al Pad PVD)装备是由北方华创自立开辟的集成电路范畴的高端PVD装备,适用于90至14纳米技术节点的Bond Pad和Al Interconnect工艺。该装备打破了大产能传输平台、高温静电卡盘、先辈磁控溅射源等一系列关键技术,处理了厚铝粘片、晶须缺点等世界性手艺困难,弥补了海内手艺空缺,技术指标到达国际先进水平。产物曾经普遍应用于逻辑、存储和显现等范畴。

北方华创是海内独一的集成电路高端PVD制造厂商,产物曾经进入中芯国际、武汉新芯、上海华力等集成电路生产线,局部型号产物实现出口。